設備采用PLC+觸摸屏控制，操作簡單易維護，產品主要用于小規(guī)模生產，科學實驗； 腔體材質采用316不銹鋼，進口鋁合金材質，耐腐蝕，腔體可以根據客戶產品需求定制； 進口針閥精密流量控制計，兩路工藝反應氣體通道； 獨特的電極結構，確保等離子體均勻性； 良好的安全性，多功能安全保護。